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“黄总工,x射线光刻机的x射线辐射剂量是什么标准?”其中一个专家连忙问道。
这个问题非常重要,x射线的穿透力非常强,如果辐射剂量超标,那员工的身体必然出问题。
“这是辐射剂量检测仪,你们可以测试一下。”
几个专家操作起一台精度超高的环境辐射检测器。
[0003602v]
“好小,只有0003602毫西弗。”
“其他位置也测试一下。”
其实是由于x射线光刻机的光刻胶光敏性非常高,导致x射线激光器的功率非常小。
加上之前在研发光刻胶的时候,材料研究所制造了一些副产品,其中就有可以吸收x射线的材料。
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